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高安明博士為我院師生做學術報告
     日期:2019-01-04

  

公歷2019年新年伊始,佳音如故。歡度元旦假期之后,各位師生再接再厲真人赌钱游戏代理平台,勇攀學術高峰真人赌钱游戏代理平台。20190102日上午10:00真人赌钱游戏代理平台,來自美國Skyworks Solution Inc.的高級研發工程師高安明應邀為我校師生在翡翠湖校區科技樓第一會議室做學術報告,活動由電子科學與應用物理學院真人赌钱游戏代理平台真人赌钱游戏代理平台、微電子舉辦真人赌钱游戏代理平台,電物學院相關學科教師以及部分研究生參加了報告會。

首先,主持人介紹了高級研發工程師——高安明博士的個人簡介和科研成果,并致辭熱烈歡迎高博士來到合肥工業大學和我院師生分享其學術成果和在研發經歷真人赌钱游戏代理平台。

然后,高博士做了有關于AlN Lamb wave resonators and the challenges的報告,在報告開始之前,高博士提出真人赌钱游戏代理平台,如果報告過程中真人赌钱游戏代理平台,師生們對于報告內容中有感興趣的點可以隨時打斷并提問。報告分為四個部分,第一部分:現有MEMS諧振器的回顧真人赌钱游戏代理平台。第二部分:AlN Lamb波諧振器的設計和生產。第三部分:如今的挑戰和解決方案。第四部分:回顧要點。大致內容為:近年來引起了廣泛的關注利用蘭姆波在壓電薄膜中傳播的射頻微機電系統(MEMS)諧振器結合了體聲波(BAW)和表面聲波(SAW)技術的優點真人赌钱游戏代理平台,即高相速和單片機上的多個頻率。特別是基于基本對稱(S0)蘭姆模態的氮化鋁(AlN)諧振器因其具有高相速(10000 m/s)、低色散相速度特性、小的溫度誘導頻率漂移真人赌钱游戏代理平台、低運動電阻以及與互補金屬氧化物半導體(CMOS)的單片集成兼容性而表現出良好的應用前景。然而,仍然存在一些突出的技術挑戰,包括偽模態抑制、質量因數(Q)增強、頻率可伸縮性和機電耦合改進。這些問題阻礙了AlN蘭姆波諧振器的廣泛應用和商業化。報告AlN蘭姆波諧振器的設計與制作進行了全面的綜述,并提出了解決這些主要問題的方法。

在整個報告過程中,各位教授對AlN Lamb波諧振器表現出了強烈的興趣真人赌钱游戏代理平台,對報告中的各個突出亮點提出了相關問題和自己的看法。高博士各個問題予以一一解答。報告結束后,同學們意猶未盡紛紛主動向高博士提出學術性和工業性問題更拓展到對此類產品的商業使用價值以及研發制作流程等相關問題。高博士與在座教授分別發表了深切的見解。有關內容的交流體現出對國內高新科技技術的創新與思考,為我院師生的科研與學術有一定的參考價值,為各位研究生規劃人生旅程有一定指導意義真人赌钱游戏代理平台。最后,主持人為報告會作了總結,并感謝高博士的熱情分享,期待下次重逢。

  

  

  

報告人簡介

安明,真人赌钱游戏代理平台,博士,美國Skyworks Solution Inc.高級研發工程師真人赌钱游戏代理平台。2013年碩士畢業于上海交通大學電子工程系, 2018年博士畢業于伊利諾伊大學厄巴納-香檳分校電子與計算機工程系,師從Songbin Gong教授。2018加入Skyworks Solution Inc.從事聲表波濾波器(SAW filter)的研發設計工作,專注于新型材料和新型諧振模式的研究真人赌钱游戏代理平台,以提升聲表波濾波器耦合系數真人赌钱游戏代理平台、雜散模抑制品質(Q)。博士研究期間研發真人赌钱游戏代理平台、設計真人赌钱游戏代理平台、制備出目前世界上Q (4500)和耦合系數(1.8%)最高的氮化鋁(ALN)拉姆波(Lamb wave)諧振器。近來來,第一作者共同作者在IEEE trans. MTT, IEEE JMEMS, IEEE MWCL, IEEE trans. UFFC, Optics Express, IEEE conferences of MEMS, IFCS, IMS, IUS上發表論文45余篇真人赌钱游戏代理平台。曾獲Lam Research Corporation杰出研究生獎學金和Nick and Katherine Holonyak, Jr.研究生獎學金真人赌钱游戏代理平台。

  

  

  

報告簡介

Radio frequency (RF) microelectromechanical system (MEMS) resonators employing Lamb waves propagating in piezoelectric thin films have recently attracted much attention since they combine the advantages of the bulk acoustic wave (BAW) and surface acoustic wave (SAW) technologies: high phase velocity and multiple frequencies on a single chip. In particular, aluminum nitride (AlN) resonators based on fundamental symmetric (S0) Lamb mode have shown great promise because they can offer high phase velocities (10,000 m/s), low dispersive phase velocity characteristic, small temperature-induced frequency drift, low motional resistance, and monolithic integration compatibility with complementary metal–oxide–semiconductor (CMOS).

However, there are still a few outstanding technical challenges, including spurious modes suppression, quality factor (Q) enhancement, frequency scalability, and electromechanical coupling improvement. These issues obstruct the wide deployment and commercialization of AlN Lamb wave resonators.

This talk presents comprehensive overview of the design and fabrication of the AlN Lamb wave resonators and the solutions to these main issues.

  


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